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加急見(jiàn)刊

氮化硅陶瓷球研磨拋光技術(shù)研究進(jìn)展

肖曉蘭; 閻秋生; 林華泰; 焦競(jìng)豪; 劉杰 廣東工業(yè)大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院; 廣東廣州510006; 廣州番禺職業(yè)技術(shù)學(xué)院機(jī)電工程學(xué)院; 廣東廣州511483

摘要：氮化硅陶瓷球是重大裝備中軸承的關(guān)鍵基礎(chǔ)元件,球體的超精密研磨拋光質(zhì)量是影響軸承性能與壽命的重要因素.本文從加工方法的角度,總結(jié)了陶瓷球研磨拋光技術(shù)的研究進(jìn)展,對(duì)不同的陶瓷球超精密復(fù)合拋光方法進(jìn)行了比較分析,并提出了一種新型拋光方法,即集群磁流變拋光陶瓷球的方法.該方法初步測(cè)試顯示,經(jīng)3 h的拋光,氮化硅陶瓷球的表面粗糙度Ra由50 nm下降到5 nm,球度達(dá)到0.11～0.22μm.

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