基于CMOS平臺的硅光子關鍵器件與工藝研究
摘要：面向互補金屬氧化物半導體(CMOS)工藝兼容的硅基光互連體系,研制了包括光波導、光柵耦合器、刻蝕衍射光柵、偏振旋轉分束器、光頻梳以及3D互連新器件等的硅光子關鍵器件,并對相應器件的設計及工藝給出了最新的研究結果。基于以上關鍵硅光子器件進行了大規模光子集成,實現了片上集成的微波任意波形發生器,并集成了300多個光器件,包括高速調制、延遲線和熱調等功能。面向數據通信研制了八通道偏振不敏感波分復用(WDM)接收器,解決了集成系統中的偏振敏感問題。
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