TaAgN復(fù)合膜顯微結(jié)構(gòu)、力學(xué)性能和摩擦性能的研究
摘要：采用非平衡反應(yīng)磁控濺射法制備了TaAgN復(fù)合膜。利用X射線衍射儀、CSM納米壓痕測(cè)試儀和摩擦磨損測(cè)試了復(fù)合膜的顯微結(jié)構(gòu)、力學(xué)性能和摩擦性能。結(jié)果顯示,TaAgN復(fù)合膜由面心立方結(jié)構(gòu)的TaN相和底心斜方結(jié)構(gòu)的Ta4N相組成。隨著Ag靶功率的增加,硬度H、彈性模量E、彈性恢復(fù)We和H^3/E^2值均呈先升高后降低的趨勢(shì),最大值分別為34GPa,394GPa,57%和250MPa。隨著Ag靶功率的增加,TaAgN復(fù)合膜室溫下的平均摩擦因數(shù)呈降低趨勢(shì)。當(dāng)Ag靶功率為25W時(shí),隨著溫度的升高,TaAgN復(fù)合膜的平均摩擦因數(shù)逐漸減小。
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