作者：鄧習(xí)樹(shù); 吳運(yùn)新; 隆志力; 楊輔強(qiáng) 刊期：2007年第05期

步進(jìn)掃描光刻機(jī)在工作狀態(tài)下振動(dòng)特性的好壞對(duì)其性能起著重要作用.為給步進(jìn)掃描光刻機(jī)的設(shè)計(jì)研究提供理論指導(dǎo),設(shè)計(jì)了一種步進(jìn)掃描光刻機(jī)模擬試驗(yàn)運(yùn)動(dòng)裝置,它能夠完全再現(xiàn)步進(jìn)掃描光刻機(jī)的運(yùn)動(dòng)特點(diǎn).在此基礎(chǔ)上,對(duì)試驗(yàn)裝置的關(guān)鍵部件進(jìn)行了振動(dòng)測(cè)試,運(yùn)用傅里葉變換和現(xiàn)代聯(lián)合時(shí)頻分析技術(shù)對(duì)測(cè)得的數(shù)據(jù)分別進(jìn)行了分析,結(jié)果表明,采用聯(lián)合時(shí)頻分析技...

作者：劉勛; 陳濤; 劉世炳; 左鐵釧 刊期：2007年第05期

利用飛秒激光對(duì)H62黃銅、lCr18Ni9Ti奧氏體不銹鋼和7075鋁合金進(jìn)行加工,研究了激光參數(shù)和試驗(yàn)條件對(duì)三種合金材料的微細(xì)加工效果的影響.試驗(yàn)研究?jī)?nèi)容包括脈沖掃描速率與刻蝕寬度和深度的關(guān)系、入射脈沖數(shù)量與刻蝕寬度以及刻蝕效率的關(guān)系.運(yùn)用掃描電子顯微鏡和激光共焦掃描顯微鏡對(duì)試驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行分析,發(fā)現(xiàn)對(duì)于三種合金材料而言,入射的脈沖數(shù)量達(dá)到...

作者：尚鴻雁; 王永坤 刊期：2007年第05期

對(duì)X射線(xiàn)掩模電子束制備圖形過(guò)程建立三維有限元模型,提出用熱流密度等效法簡(jiǎn)化瞬態(tài)熱應(yīng)力計(jì)算,得到了X射線(xiàn)掩模在電子束直寫(xiě)過(guò)程中的瞬態(tài)熱形變.結(jié)果表明,掩模面內(nèi)形變?cè)谥睂?xiě)過(guò)程中出現(xiàn)振蕩變化,最大值為8.24 nm,方向背離電子束光照中心,掩模面外形變最大值為9.75μm,方向沿圖形窗口法線(xiàn)方向,并出現(xiàn)在電子束束斑中心.

作者：張波; 薛虹 刊期：2007年第05期

以雙頻激光干涉儀在電子束曝光機(jī)精確定位中的運(yùn)用為例(其具有典型的代表性),研究環(huán)境因素對(duì)微納加工中精確定位的影響,并針對(duì)溫度是其中影響最大的因素,提出了一種實(shí)時(shí)溫度補(bǔ)償方法,修正了測(cè)量結(jié)果由于熱膨脹不能真實(shí)反映工件臺(tái)位置帶來(lái)的定位誤差.

作者：盧文娟; 張玉林; 孔祥東 刊期：2007年第05期

從高分子輻射化學(xué)的角度對(duì)電子束環(huán)氧基負(fù)膠曝光的實(shí)際反應(yīng)機(jī)理進(jìn)行了深入的分析研究.通過(guò)Charlesby-Pinner關(guān)系式推導(dǎo)得出輻射交聯(lián)反應(yīng)中一些表征量(溶膠分?jǐn)?shù)等)與輻射劑量的定量關(guān)系.通過(guò)SDS-Ⅱ型曝光機(jī)對(duì)環(huán)氧Epoxy1618進(jìn)行曝光實(shí)驗(yàn),驗(yàn)證了上述結(jié)論的準(zhǔn)確性,該論證結(jié)果用于指導(dǎo)電子束曝光參數(shù)的選取.