微間距氣體放電的實驗研究與分析
摘要：為了研究微間距氣體放電特性機理,在大氣壓環境下,采用了精密距離控制儀器進行電極間距為1~100μm的氣體放電實驗,得出了電極間距在1~100μm范圍內的擊穿電壓,繪制了擊穿電壓曲線并討論分析了1~5μm間距下擊穿電壓背離巴申曲線的原因。運用Fowler-Nordheim理論驗證了在電極間距小于5μm時,氣體放電過程由場致電子發射主導,并通過分析1~5μm間距內場強,進一步說明場致發射在此起主導作用。電極間距在10~15μm范圍內時出現火花放電現象,分析認為該間距下的放電為電子崩引發的微間隙火花放電。電極間距在15~100μm范圍內時擊穿電壓隨著電極間距的增大而逐漸增大,擊穿電壓曲線與巴申曲線變化趨勢相同,可以用湯遜機理解釋。
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