大范圍二維納米位移臺的控制及非線性校準的實驗研究
摘要：搭建了基于激光干涉儀測量原理的三軸微位移測量系統，對大范圍二維納米位移臺的控制及非線性校準進行實驗研究。介紹了雙頻激光干涉儀測量系統的構成；編寫了納米位移臺的控制程序和激光干涉儀數據采集程序；闡述了位移臺的非線性校準方法，并通過實驗對比了多項式三階擬合和三階分段擬合的差別，驗證了校準方法的準確性。實驗表明：使用三階分段擬合的校準方法效果更好，校準前，x軸的最大非線性誤差為4．052μm，y軸的最大非線性誤差為2．927μm；校準后，x軸的最大非線性誤差為15nm，y軸的最大非線性誤差為17nm，僅為原始非線性誤差的1％。
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