鋁傳感層蒸鍍速率對飛秒激光抽運探測熱反射方法測量熱導率影響的研究
摘要：對飛秒激光抽運探測熱反射實驗中的一個關鍵因素傳感層進行了研究，發現鋁傳感層的蒸鍍速率對飛秒激光抽運實驗有著很大的影響。分別在3種不同類型的硅片和玻璃片基底上用不同的蒸鍍速率蒸鍍了100nnm的鋁膜蒸鍍速率控制在2×10^-10到15×10^-10m／s。通過掃描電子顯微鏡（SEM）和X射線反射（XRR）研究了蒸鍍鋁膜表面的形貌及鋁膜的厚度。基于飛秒激光抽運探測熱反射方法對基底的熱導率進行了測量，發現隨著蒸鍍速率的增大，不同基底測量得到的熱導率呈現一致的規律。結果表明，蒸鍍速率越大，鋁傳感層的晶粒越大，傳感層的體積熱容越小，當蒸鍍速率大到一定程度時，由于晶粒的不規則度越來越大，反過來又影響體積熱容的大小，從而影響了飛秒激光抽運探測熱反射。
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