采用三穩頻激光源實現絕對長度測量
摘要：合成波長法利用多個波長構建數值足夠大的合成波長,從而可實現絕對測量.然而實際應用中要找到波長值合適且波長穩定性足夠高的多個波長難度很大.本文研究了一種長度絕對測量光路,采用三個高精度穩頻波長構建合成波長鏈,建立合成波長鏈測量公式及其級間過渡條件,搭建相移干涉光路測量各單一波長的干涉級次小數值,最后實現絕對長度的高精度測量.對零膨脹微晶玻璃樣品進行了長度測量實驗,實驗結果及誤差分析表明長度測量不確定度約為3nm.所提方法對樣品的初測精度要求較低,而測量范圍僅受干涉光路的長度限制.
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