采用三穩(wěn)頻激光源實(shí)現(xiàn)絕對(duì)長度測量
摘要：合成波長法利用多個(gè)波長構(gòu)建數(shù)值足夠大的合成波長,從而可實(shí)現(xiàn)絕對(duì)測量.然而實(shí)際應(yīng)用中要找到波長值合適且波長穩(wěn)定性足夠高的多個(gè)波長難度很大.本文研究了一種長度絕對(duì)測量光路,采用三個(gè)高精度穩(wěn)頻波長構(gòu)建合成波長鏈,建立合成波長鏈測量公式及其級(jí)間過渡條件,搭建相移干涉光路測量各單一波長的干涉級(jí)次小數(shù)值,最后實(shí)現(xiàn)絕對(duì)長度的高精度測量.對(duì)零膨脹微晶玻璃樣品進(jìn)行了長度測量實(shí)驗(yàn),實(shí)驗(yàn)結(jié)果及誤差分析表明長度測量不確定度約為3nm.所提方法對(duì)樣品的初測精度要求較低,而測量范圍僅受干涉光路的長度限制.
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