金剛石薄膜制備方法與應(yīng)用的研究現(xiàn)狀
摘要：金剛石薄膜由于具有良好的耐磨性能以及極高的硬度,其制備與應(yīng)用受到研究者廣泛關(guān)注。目前,金剛石的制備方法總體分為兩個部分,其一為高溫高壓法,另一個則為化學(xué)氣相沉積法。而目前金剛石薄膜所面臨的重大問題是鍍膜過程中生長速度較慢,不利于批量生產(chǎn),另一方面薄膜與基板的附著力較差,其摩擦系數(shù)在惡劣的工業(yè)環(huán)境中較大,這些問題亟待研究解決。本文綜述了國內(nèi)外有關(guān)金剛石薄膜化學(xué)氣相沉積法的各種制備方法,重點討論了采用熱絲化學(xué)氣相沉積法以及微波化學(xué)氣相沉積法制備金剛石薄膜的研究現(xiàn)狀,并論述了金剛石薄膜的應(yīng)用優(yōu)勢以及未來金剛石薄膜的制備以及應(yīng)用的方向和前景。
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