金剛石薄膜制備方法與應用的研究現狀
摘要：金剛石薄膜由于具有良好的耐磨性能以及極高的硬度,其制備與應用受到研究者廣泛關注。目前,金剛石的制備方法總體分為兩個部分,其一為高溫高壓法,另一個則為化學氣相沉積法。而目前金剛石薄膜所面臨的重大問題是鍍膜過程中生長速度較慢,不利于批量生產,另一方面薄膜與基板的附著力較差,其摩擦系數在惡劣的工業環境中較大,這些問題亟待研究解決。本文綜述了國內外有關金剛石薄膜化學氣相沉積法的各種制備方法,重點討論了采用熱絲化學氣相沉積法以及微波化學氣相沉積法制備金剛石薄膜的研究現狀,并論述了金剛石薄膜的應用優勢以及未來金剛石薄膜的制備以及應用的方向和前景。
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