TiAl鍍膜靶材制備工藝對硬質涂層的性能影響研究
摘要：采用常壓燒結和熱壓燒結分別制備了TiAl合金靶材,并采用濺射鍍膜法制備了TiAl硬質涂層。對兩種工藝所制備靶材的硬質涂層進行顯微組織和相成分分析,并進行耐高溫氧化性和力學性能測試。結果表明：采用常壓燒結制備的靶材硬質涂層分散不均勻,且致密性較差,氧化速率較快,顯微硬度僅為1 798 HV;而采用熱壓燒結制備的靶材硬質涂層具有高致密度、低孔隙率,晶粒尺寸細小且分布較為均勻,抗氧化性能顯著提高,顯微硬度高達3 165 HV,較前者提高了76%。
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