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基于懸空電容的機械振子的制備和表征

戴欣; 李永超; 潘佳政; 江俊良; 魏興雨; 盧亞鵬; 盧盛; 涂學湊; 孫國柱; 吳培亨 南京大學電子科學與工程學院超導(dǎo)電子學研究所; 南京210046

摘要：微機械振子在信息處理的研究領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用,我們采用超導(dǎo)材料鋁制備了懸空電容,該懸空電容的上極板構(gòu)成了微機械振子.懸空電容和螺旋電感一起構(gòu)成LC振蕩電路.微波通過平面波導(dǎo)傳輸線耦合進來,在LC電路中形成電磁振蕩,同時,激勵出薄膜機械振子的機械振動.本文詳細介紹了采用稀釋的光刻膠作犧牲層來制備懸空結(jié)構(gòu)的方法,并通過測試,研究了懸空電容中的薄膜振動特性,為今后機械振子與微波場、光場甚至量子比特的相互耦合等研究工作提供了重要參考.

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