掃描電鏡和電子探針對比測試碲在鎳合金中的分布
摘要：在鎳合金表面電鍍碲薄膜,在不同溫度下對樣品進行不同時間的真空熱處理,以研究碲元素在鎳基合金中的擴散分布情況。使用掃描電鏡（SEM）配置能譜儀（EDS）和電子探針（EPMA）分別測試某一熱處理工藝條件的試驗試樣,印證了EPMA在元素較低含量方面測試的獨特優勢。最后從多方面總結對比了SEM配置EDS和波譜儀（WDS）附件與EPMA的不同特點,說明在微區觀察方面,SEM具有較突出的優勢,而在微區分析方面,EPMA具有不可替代的特點。
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