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掃描電鏡和電子探針對(duì)比測試碲在鎳合金中的分布

趙同新 島津企業(yè)管理(中國)有限公司分析中心; 上海200233

摘要：在鎳合金表面電鍍碲薄膜,在不同溫度下對(duì)樣品進(jìn)行不同時(shí)間的真空熱處理,以研究碲元素在鎳基合金中的擴(kuò)散分布情況。使用掃描電鏡（SEM）配置能譜儀（EDS）和電子探針（EPMA）分別測試某一熱處理工藝條件的試驗(yàn)試樣,印證了EPMA在元素較低含量方面測試的獨(dú)特優(yōu)勢。最后從多方面總結(jié)對(duì)比了SEM配置EDS和波譜儀（WDS）附件與EPMA的不同特點(diǎn),說明在微區(qū)觀察方面,SEM具有較突出的優(yōu)勢,而在微區(qū)分析方面,EPMA具有不可替代的特點(diǎn)。

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