新型半填充微氣相色譜柱芯片研究 田博文; 馮飛; 趙斌; 羅凡; 楊雪蕾; 李昕欣 中國科學院上海微系統與信息技術研究所; 上海200050; 中國科學院大學; 北京100049 摘要:基于微機電系統(MEMS)技術設計制造了新型半填充微氣相色譜柱(μGCC)芯片,芯片的微溝道內設計有排列整齊的橢圓微柱陣列。與現有半填充μGCC相比,新型μGCC的微溝道具有更大的表面積和更均勻的流速場分布,對芯片分離度和柱效的提高起著至關重要的作用。設計的芯片成功分離了重烴類混合氣體組分和苯系物,理論塔板數最高可達到9 246 plates/m。 注: 保護知識產權,如需閱讀全文請聯系傳感器與微系統雜志社