MEMS的微冷卻技術及噴霧冷卻過程強化
摘要：本文對微機電系統（MEMS）的微通道冷卻、微射流沖擊冷卻、微噴霧冷卻、微熱管冷卻及半導體冷卻技術的研究現狀進行綜述，并探討了噴霧冷卻的影響因素、傳熱機制及過程強化問題。
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