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磁控濺射制備V2O5薄膜及全固態薄膜鋰電池研究

王勝利; 傅方樵; 桑林; 丁飛 中國電子科技集團公司第十八研究所化學與物理電源重點實驗室; 天津300384

摘要：V2O5具有容量高、循環穩定、易于制備成薄膜等特點,是全固態薄膜鋰電池理想的正極材料。采用磁控濺射法,以V2O5為靶材制備了薄膜,研究了濺射氣體Ar/O2對薄膜結構、形貌及電化學性能的影響,優化了薄膜制備工藝。最終采用磁控濺射法依次沉積集流體薄膜、釩氧化物薄膜、固態電解質薄膜,真空熱蒸發金屬鋰薄膜,成功制備了Al/V2O5/Li P ON/Li/Cu全固態薄膜鋰電池。薄膜電池在1.7~3.4 V電壓范圍內,以10μA/cm2恒電流充放電測試,電池比容量達到25μAh/cm2,穩定循環超過500次。

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