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加急見(jiàn)刊

磁控濺射制備V2O5薄膜及全固態(tài)薄膜鋰電池研究

王勝利; 傅方樵; 桑林; 丁飛 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十八研究所化學(xué)與物理電源重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 天津300384

摘要：V2O5具有容量高、循環(huán)穩(wěn)定、易于制備成薄膜等特點(diǎn),是全固態(tài)薄膜鋰電池理想的正極材料。采用磁控濺射法,以V2O5為靶材制備了薄膜,研究了濺射氣體Ar/O2對(duì)薄膜結(jié)構(gòu)、形貌及電化學(xué)性能的影響,優(yōu)化了薄膜制備工藝。最終采用磁控濺射法依次沉積集流體薄膜、釩氧化物薄膜、固態(tài)電解質(zhì)薄膜,真空熱蒸發(fā)金屬鋰薄膜,成功制備了Al/V2O5/Li P ON/Li/Cu全固態(tài)薄膜鋰電池。薄膜電池在1.7~3.4 V電壓范圍內(nèi),以10μA/cm2恒電流充放電測(cè)試,電池比容量達(dá)到25μAh/cm2,穩(wěn)定循環(huán)超過(guò)500次。

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