陶瓷基微反應器制備的研究進展
摘要：微反應器中亞毫米級的流體通道具有高效的傳質傳熱效應,使其能夠強化反應過程。隨著微細加工技術的發(fā)展,制備出了耐高溫耐腐蝕的陶瓷基微反應器,適用于更嚴苛的反應條件,然而陶瓷基微反應器的制備存在微結構成型工藝復雜、密封難度較大等問題。本文主要介紹不同陶瓷材料微反應器的制備工藝,重點論述陶瓷基微反應器制備過程中常規(guī)微加工技術的優(yōu)化和新型微加工技術的引入,對比這些技術對微結構成型的改善效果。列舉常用的陶瓷微通道密封連接方法,概述其特點和適用范圍。并提出在陶瓷基微反應器制備的后續(xù)研究過程中,應注重陶瓷基微反應器制備的成功率和新技術的開發(fā),完善陶瓷基微反應器的性能,將陶瓷基微反應器引入到更廣泛的應用體系中。
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