共形技術在微系統集成領域的應用
摘要：在共形技術發展趨勢的基礎上,重點介紹了共形技術的特點及在微系統集成領域的發展現狀.同時,使用金屬基共形試驗件進行了樣件加工和裝配驗證.試驗結果表明,共形技術可應用于三維集成領域,并解決復雜組件組裝時的復雜互聯問題.
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