聚合物光波導(dǎo)45°反射面形成工藝研究
摘要:為了降低傳輸中的損耗,基于聚合物光波導(dǎo)實(shí)現(xiàn)光互連以滿足系統(tǒng)應(yīng)用.基于聚合物光波導(dǎo)傳輸理論,設(shè)計(jì)了含45°角的傳輸結(jié)構(gòu),梳理了制備流程.針對(duì)聚合物光波導(dǎo)45°反射面制備難題,通過前處理、包層光刻、芯層勻膠和芯層曝光等技術(shù),獲得線寬精度高和傳輸損耗低的光波導(dǎo)結(jié)構(gòu).通過對(duì)該結(jié)果測(cè)試表明,傳輸特性滿足使用要求,可作為通信的重要手段.
注: 保護(hù)知識(shí)產(chǎn)權(quán),如需閱讀全文請(qǐng)聯(lián)系電子工藝技術(shù)雜志社