聚合物光波導45°反射面形成工藝研究
摘要：為了降低傳輸中的損耗,基于聚合物光波導實現光互連以滿足系統應用.基于聚合物光波導傳輸理論,設計了含45°角的傳輸結構,梳理了制備流程.針對聚合物光波導45°反射面制備難題,通過前處理、包層光刻、芯層勻膠和芯層曝光等技術,獲得線寬精度高和傳輸損耗低的光波導結構.通過對該結果測試表明,傳輸特性滿足使用要求,可作為通信的重要手段.
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