液封直拉富銦InP中銦夾雜的縱向和橫向分布
摘要：采用光學顯微鏡與紅外透射顯微鏡相結合的方法,研究了磷化銦(InP)晶片中銦夾雜的形貌,通過比較含有銦夾雜的晶體與晶片,總結了銦夾雜在富銦磷化銦中的縱向與橫向分布行為,并分析了熔體組分配比度、固液界面形貌以及溫度梯度對銦夾雜分布行為的影響。在含有銦夾雜的單晶片中發現銦夾雜的一種特殊環形分布行為,對比和它相鄰的晶片,發現這種環形分布呈現出沿生長方向直徑逐漸變小的趨勢,初步分析與固液界面呈微凸的形貌有關。在這種特殊分布中,發現部分銦夾雜呈四方對稱分布。結合磷化銦的晶體結構,分析這種對稱分布與固液界面處的{111}晶面有關。
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