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加急見刊

UV LIGA技術在毫米波太赫茲器件中的應用進展

李含雁; 馮進軍 中國電子科技集團公司第十二研究所大功率微波電真空器件技術國防科技重點實驗室; 北京100015

摘要：采用紫外光刻電鑄和微成型(UVLIGA)技術制造太赫茲真空器件的高頻結構,頻率為94~220GHz。對于94GHz高頻結構,尺寸誤差≤15μm,采用此高頻結構的脈沖行波管輸出功率大于100W;180GHz高頻結構,尺寸誤差≤5μm,采用此高頻結構的太赫茲行波管二倍頻器輸出功率高于100mW,帶寬為11.4GHz;220GHz高頻結構,尺寸誤差≤3μm,衰減因子為240dB/m。UVLIGA技術在太赫茲真空器件中的成功應用,不但為毫米波太赫茲器件研制奠定了基礎,同時也為UVLIGA技術在設計制造毫米波太赫茲器件領域,包括有源和無源器件,開辟了一番新天地。

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