數字化雙模高效率射頻功率源
摘要：射頻功率源作為射頻電源系統的核心組件之一,其頻率固定、轉換效率低下,已經成為了制約射頻電源系統發展的瓶頸。針對這一問題,提出了射頻功率源在雙頻率工作模式之間自由切換的設計方案。采用直接數字式頻率合成器(Direct Digital Synthesizer,DDS)作為射頻信號源,選用德國IXYS公司的MOSFTE完成小信號的放大,提高了輸出頻率穩定度和轉換效率;采用并聯電感的方法降低了開關時的功率損耗;利用數控式選擇開關切換選頻網絡,從而實現系統在雙頻率下的適配。同時對提出的方案及理論進行Multisim仿真驗證。經過實物測試,該射頻功率源可以在300 W額定功率下實現13.56 MHz和27.12 MHz雙頻率選擇輸出,轉換效率能夠達到90.1%。
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