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數(shù)字化雙模高效率射頻功率源

李亞東; 趙二剛; 俞梅; 衛(wèi)娜; 張建軍 南開大學(xué)電子信息與光學(xué)工程學(xué)院; 天津300350

摘要：射頻功率源作為射頻電源系統(tǒng)的核心組件之一,其頻率固定、轉(zhuǎn)換效率低下,已經(jīng)成為了制約射頻電源系統(tǒng)發(fā)展的瓶頸。針對(duì)這一問題,提出了射頻功率源在雙頻率工作模式之間自由切換的設(shè)計(jì)方案。采用直接數(shù)字式頻率合成器(Direct Digital Synthesizer,DDS)作為射頻信號(hào)源,選用德國(guó)IXYS公司的MOSFTE完成小信號(hào)的放大,提高了輸出頻率穩(wěn)定度和轉(zhuǎn)換效率;采用并聯(lián)電感的方法降低了開關(guān)時(shí)的功率損耗;利用數(shù)控式選擇開關(guān)切換選頻網(wǎng)絡(luò),從而實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)在雙頻率下的適配。同時(shí)對(duì)提出的方案及理論進(jìn)行Multisim仿真驗(yàn)證。經(jīng)過實(shí)物測(cè)試,該射頻功率源可以在300 W額定功率下實(shí)現(xiàn)13.56 MHz和27.12 MHz雙頻率選擇輸出,轉(zhuǎn)換效率能夠達(dá)到90.1%。

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