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加急見(jiàn)刊

基于表面圖像銳度的LIBS自動(dòng)對(duì)焦方法

王華東; 付洪波; 賈軍偉; 周琪琪; 倪志波; 董鳳忠 中國(guó)科學(xué)院安徽光學(xué)精密機(jī)械研究所光子器件與材料安徽省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 合肥230031; 中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué); 合肥230026

摘要：利用自行設(shè)計(jì)的集成微區(qū)成像激光誘導(dǎo)擊穿光譜系統(tǒng),分析了孔徑光闌設(shè)定、目標(biāo)區(qū)域大小以及樣品表面反射率對(duì)表面圖像位置敏感特性的影響.結(jié)果表明,表面圖像銳度在大孔徑設(shè)定下對(duì)位置更為敏感,適用于自動(dòng)對(duì)焦過(guò)程;反射率對(duì)表面圖像銳度的位置敏感特性影響較小,且部分表面圖像的銳度也可用于輔助激光誘導(dǎo)擊穿光譜對(duì)焦;不同樣品不同目標(biāo)區(qū)域大小,圖像銳度最大值對(duì)應(yīng)表面位置具有很好r的重復(fù)性.在此基礎(chǔ)上,建立了基于表面圖像銳度的自動(dòng)對(duì)焦方法.

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