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加急見刊

新型MEMS電容真空傳感器的設計及其分析

王呈祥; 李得天; 曹生珠; 成永軍; 孫雯君; 韓曉東; 李剛 蘭州空間技術物理研究所真空技術與物理重點實驗室; 蘭州730000

摘要：為了延伸MEMS電容式真空傳感器測量范圍、提高抗過載能力,設計了一種新型島狀結構下電極。利用有限元方法分析該結構與傳統結構真空傳感器的壓力-撓度、壓力-電容、壓力-薄膜應力關系。研究發現,與傳統結構相比,新型結構真空傳感器的低壓靈敏度更高、線性輸出性能更好、抗過載能力更強,可為MEMS電容式真空傳感器研制提供參考。

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