微系統技術現狀及發展綜述
摘要：電力電子產品系統逐漸向小型化、高度集成化的方向發展,微系統匯集了多門學科技術的創新與突破,無論在軍事還是民用領域已有廣泛的應用。本文詳述了國內外微系統技術的現狀和發展趨勢,其技術創新點在于多功能芯片一體化、智能傳感、異質集成、堆疊式系統級封裝技術的突破和新型半導體材料的應用;文末總結了微系統技術發展的意義,并提出展望。
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