微系統(tǒng)技術現(xiàn)狀及發(fā)展綜述
摘要：電力電子產(chǎn)品系統(tǒng)逐漸向小型化、高度集成化的方向發(fā)展,微系統(tǒng)匯集了多門學科技術的創(chuàng)新與突破,無論在軍事還是民用領域已有廣泛的應用。本文詳述了國內外微系統(tǒng)技術的現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢,其技術創(chuàng)新點在于多功能芯片一體化、智能傳感、異質集成、堆疊式系統(tǒng)級封裝技術的突破和新型半導體材料的應用;文末總結了微系統(tǒng)技術發(fā)展的意義,并提出展望。
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