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BaO含量對K2O-B2O3-SiO2-Al2O3低溫?zé)Y(jié)材料性能的影響

尚勇; 鐘朝位; 李欣源 電子科技大學(xué)電子薄膜與集成器件國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室; 四川成都610054

摘要：在不添加熔融玻璃的情況下,采用一次預(yù)燒法制備了低溫?zé)Y(jié)的K2O-B2O3-SiO2-Al2O3復(fù)合材料,并系統(tǒng)地討論了BaO含量對復(fù)合材料微觀結(jié)構(gòu)、物相組成、介電性能、彎曲強(qiáng)度和熱膨脹系數(shù)的影響。X射線衍射結(jié)果表明復(fù)合材料的主晶相為石英相,次晶相為氧化鋁相。除此之外,研究結(jié)果表明調(diào)整BaO含量有利于獲得良好的燒結(jié)性能。當(dāng)BaO質(zhì)量分?jǐn)?shù)為5%時(shí),在850℃燒結(jié)的復(fù)合材料在14GHz下的相對介電常數(shù)(εr)為5.42,介電損耗為3.6×10^-3,熱膨脹系數(shù)(TEC)為8.4×10^-6/℃,彎曲強(qiáng)度為158MPa。這為制備新型的LTCC材料提供了一種有效的方法,具有廣闊的應(yīng)用前景。

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