硅基納微米結構光電性能及大面積光伏器件應用研究
摘要：基于金屬離子輔助的化學刻蝕方法(MACE),分別在大面積單晶和多晶硅片上制備了多尺度硅納微米結構,用原子層沉積(ALD)的氧化鋁對單晶硅納微米結構(面積125×125mm2)實施鈍化,實現了最低的光學減反(1.38%)和最低的表面復合速率(44.72cm/s),打破了硅納米結構太陽電池中需要對光學增益和電學損失小心平衡這一難題。研究多晶硅納微米結構,制備出了最高效率為17.63%的多晶硅納微米結構太陽電池,這個效率超越了常規多晶太陽電池17.45%的效率。無論單晶還是多晶MACE納微米結構太陽電池的研究,均為大面積高效納米結構太陽電池研究打開了廣闊空間。
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