融合試驗數據的模擬集成電路可靠性預計修正方法研究
摘要：以集成電路的特征尺寸和工藝水平為分類標準,將標準手冊中的可靠性預計模型與實際的加速壽命試驗數據進行結合,得到集成電路可靠性預計修正方法。通過此可靠性預計修正方法,能計算出集成電路的工藝修正系數數值,進而應用于可靠性預計模型之中,對集成電路可靠性預計方法進行修正。修正后的可靠性預計方法能夠更加準確的對其可靠性進行預計,解決了現有標準手冊模型不能完全準確體現出制造工藝發展的實際問題。
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