- 《微細加工技術》經新聞出版總署批準,自1983年創刊,由微細加工技術出版雙月刊編輯部發行,國內刊號為43-1140/TN,國際刊號為1003-8213,是一本高質量電子期刊
- 主管單位：信息產業部
- 主辦單位：中國電子科技集團公司第48研究所
- 期刊收錄： EI 工程索引(美)萬方收錄上海圖書館館藏國家圖書館館藏知網收錄統計源核心期刊維普收錄
- 主要欄目：綜述;電子束技術;離子束技術;光子束技術;薄膜技術;微機械加工技術;納米技術
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