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確定BAW梯形濾波器階數的方法

高楊; 賈樂; 韓超 中國工程物理研究院電子工程研究所; 四川綿陽622999; 西南科技大學信息工程學院; 四川綿陽621010; 中國科學院高能物理研究所核探測與核電子學國家重點實驗室; 北京100049

摘要:為確定體聲波(BAW)梯形濾波器的階數,使用仿真法研究了濾波器的帶外抑制與并、串聯薄膜體聲波諧振器(FBAR)的電容比Cps和濾波器階數N的關系。基于FBAR的Mason解析電路模型構建了1-6階BAW梯形濾波器,Cps取值為1-6,對1-6階BAW梯形濾波器進行仿真,取濾波器的左帶外抑制進行統計并繪制曲線圖。此外,BAW梯形濾波器的階數可包括半階數,用同樣仿真法改變階數(N=1.5,…,5.5)對濾波器進行仿真。仿真結果表明,當Cps一定時,帶外抑制基本隨濾波器的階數等量增加。當濾波器的階數一定時,帶外抑制隨Cps的增加而增加。在優化設計時,并、串聯FBAR諧振器區面積比(即Cps)一般設置為1-4,在此范圍內濾波器階數每增加一階,帶外抑制平均增加約10dB;濾波器的階數增加半階時,帶外抑制約增加整階數的一半,即5dB,而此時通帶內的插損基本保持不變。故設計濾波器時,根據設計指標中的帶外抑制可初步確定濾波器的階數。

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