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一體雙驅對稱式壓電懸臂梁微驅動器

尋之宇; 張衛平; 周歲; 歐彬 微米/納米加工技術部級重點實驗室、薄膜與微細技術教育部重點實驗室、上海市北斗導航與位置服務重點實驗室、上海交通大學電子信息與電氣工程學院微納電子學系; 上海200240

摘要：設計了一種一體化加工的雙驅對稱式壓電懸臂梁微驅動器。對壓電驅動器工作原理、壓電驅動器在準靜態工況與共振工況下的輸出特性進行了理論分析,確定壓電驅動器幾何尺寸。介紹了壓電驅動器的多層復合結構與一體雙驅的實現方式。制作了壓電驅動器樣機,并通過有限元仿真分析與測試實驗相結合的方式得到壓電驅動器的阻抗特性與輸出特性曲線。將壓電驅動器運用在輪式機器人,驗證了設計的可行性。

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