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加急見(jiàn)刊

一體雙驅(qū)對(duì)稱式壓電懸臂梁微驅(qū)動(dòng)器

尋之宇; 張衛(wèi)平; 周歲; 歐彬 微米/納米加工技術(shù)部級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、上海市北斗導(dǎo)航與位置服務(wù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、上海交通大學(xué)電子信息與電氣工程學(xué)院微納電子學(xué)系; 上海200240

摘要：設(shè)計(jì)了一種一體化加工的雙驅(qū)對(duì)稱式壓電懸臂梁微驅(qū)動(dòng)器。對(duì)壓電驅(qū)動(dòng)器工作原理、壓電驅(qū)動(dòng)器在準(zhǔn)靜態(tài)工況與共振工況下的輸出特性進(jìn)行了理論分析,確定壓電驅(qū)動(dòng)器幾何尺寸。介紹了壓電驅(qū)動(dòng)器的多層復(fù)合結(jié)構(gòu)與一體雙驅(qū)的實(shí)現(xiàn)方式。制作了壓電驅(qū)動(dòng)器樣機(jī),并通過(guò)有限元仿真分析與測(cè)試實(shí)驗(yàn)相結(jié)合的方式得到壓電驅(qū)動(dòng)器的阻抗特性與輸出特性曲線。將壓電驅(qū)動(dòng)器運(yùn)用在輪式機(jī)器人,驗(yàn)證了設(shè)計(jì)的可行性。

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