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圖像式角位移測量技術(shù)研究進(jìn)展與展望

賈興丹; 萬秋華; 于海; 趙長海; 杜穎財 中國科學(xué)院大學(xué)長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所; 吉林長春130033; 中國科學(xué)院大學(xué); 北京100049

摘要：圖像式角位移測量技術(shù)是采用數(shù)字圖像處理技術(shù)實現(xiàn)光電位移精密測量的新興技術(shù)。因其較傳統(tǒng)莫爾條紋技術(shù)更能在小尺寸光柵碼盤下實現(xiàn)高精度、高分辨力的角位移測量,已成為當(dāng)前的研究熱點(diǎn)之一。為了進(jìn)一步研究圖像式角位移測量技術(shù),本文系統(tǒng)的對現(xiàn)有的使用圖像探測器的測量技術(shù)進(jìn)行了分析,總結(jié)了國內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀的優(yōu)缺點(diǎn),并對圖像式角位移測量技術(shù)的發(fā)展進(jìn)行了展望,為高精度高分辨力角位移測量技術(shù)的研究提供依據(jù)。

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