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圖像式角位移測量技術研究進展與展望

賈興丹; 萬秋華; 于海; 趙長海; 杜穎財 中國科學院大學長春光學精密機械與物理研究所; 吉林長春130033; 中國科學院大學; 北京100049

摘要:圖像式角位移測量技術是采用數字圖像處理技術實現光電位移精密測量的新興技術。因其較傳統莫爾條紋技術更能在小尺寸光柵碼盤下實現高精度、高分辨力的角位移測量,已成為當前的研究熱點之一。為了進一步研究圖像式角位移測量技術,本文系統的對現有的使用圖像探測器的測量技術進行了分析,總結了國內外發展現狀的優缺點,并對圖像式角位移測量技術的發展進行了展望,為高精度高分辨力角位移測量技術的研究提供依據。

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