三維Saddle FET的溫度特性仿真及量子仿真驗證
摘要：隨著集成電路行業的發展趨于成熟,同時兼具高集成度和高性能成為新型微納器件的設計要求, 基于此研究一款新型Saddle 無結場效應晶體管, 其溝道寬度只有 5nm, 從其在不同溫度環境下的工作性能入手, 并運用量子仿真法驗證仿真結果的準確性.通過對比相同集成度條件下 Fin原FET和 Saddle 無結場效應晶體管在不同溫度下的工作特性, 并完成量子仿真驗證, 得到在高集成度的極限尺寸下新型 Saddle 無結場效應晶體管在性能方面所具備的優勢以及在不同溫度下其電學特性的穩定性.新型Saddle器件性能的可靠性得到證明, 也在一定程度上表明極限尺寸下U形溝道新型器件是微納器件的一種最好的發展趨勢.
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