雙A/D采樣的跨尺度光柵微納測量算法與實現
摘要：光柵通過細分實現高分辨率測量,光柵細分數與A/D轉換位數有關。針對目前低價位A/D采樣芯片存在的A/D轉換位數高則采樣速度低或A/D轉換位數低則采樣速度高的特點,提出了一種跨尺度的光柵微納測量方法,該方法通過高速A/D采樣實現光柵快速測量,通過高轉換位數A/D采樣實現慢速微納測量。為解決雙A/D采樣與細分的跟蹤問題,設計了基于雙A/D采樣的二路細分算法,一路為判定算法,判定算法是以高速A/D采樣值作為細分采樣值,另外一路為測量算法,測量算法中的細分采樣值是動態分配的,當判定算法的細分值和細分增量值滿足跟蹤條件時,測量算法中的采樣值為慢速A/D采樣值,否則為高速A/D采樣值。實驗數據表明,采用上述測量方法,可以任意組合兩種不同轉換位數與采樣速度的A/D芯片,以滿足不同需求的跨尺度光柵測量要求。
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