液體靜壓絲杠驅動的超精密運動系統設計與實驗研究
摘要：本文設計了液體靜壓絲杠驅動的超精密直線運動系統,完成了機械結構、控制系統裝配與搭建;通過實驗表明液體靜壓絲杠驅動的運動系統能夠達到10nm運動分辨率（反饋分辨率5nm）,具有良好的剛度特性、穩態特性以及動態跟蹤特性,適合作為超精密加工設備的驅動裝置。
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