準分子激光微加工應用研究進展
摘要：準分子激光加工技術基于光化學機制.準分子激光具有波長短、重復頻率高、單脈沖能量大、輸出光斑大且能量分布均勻等特點,在精準和高效微加工領域有著獨特的優勢.準分子激光微加工可以減小熱影響區（Heat affected zone, HAZ）,有效避免產生裂紋等缺陷,在材料精細加工領域有很好的應用前景。介紹了準分子激光微加工的研究進展,及準分子激光微加工應用于微電子集成電路封裝、微機電系統（Micro-electro-mechanical system, MEMS）材料加工和生物醫療等領域的研究結果,總結了準分子激光微加工技術的發展趨勢。
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