異質外延碲鎘汞薄膜的位錯抑制技術 覃鋼; 李東升; 夏宗澤; 邸卓; 陳衛業; 楊晉; 楊春章; 李艷輝 昆明物理研究所; 云南昆明650223; 國網遼陽供電公司; 遼寧遼陽111000 摘要:本文簡述了MBE異質外延碲鎘汞薄膜位錯形成機理、位錯在外延層中的演化過程以及位錯抑制理論,總結了國內外CdTe緩沖層的位錯抑制技術、HgCdTe薄膜的位錯抑制技術,分析了熱循環退火技術各個要素與位錯密度變化之間的關系。 注: 保護知識產權,如需閱讀全文請聯系紅外技術雜志社
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