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碲鎘汞器件光敏元電容測試與分析

任士遠; 林春; 魏彥鋒; 周松敏; 王溪; 郭慧君; 陳路; 丁瑞軍; 何力 中國科學院上海技術物理研究所紅外成像材料與器件重點實驗室; 上海200083; 中國科學院大學; 北京100049; 上海科技大學信息科學與技術學院; 上海210210

摘要:報道了液氮溫度下對HgCdTe器件進行電容測試的方法。標定了儀器寄生電容以及杜瓦寄生電容,并利用該測試結果計算得到PN結區附近的載流子濃度和相應的深度等數據。對比了碲鎘汞常規PN結器件與雪崩光電二極管(APD)器件的耗盡層寬度以及N區載流子濃度。

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