飛秒激光應用于合金材料微細加工的試驗研究
摘要：利用飛秒激光對H62黃銅、lCr18Ni9Ti奧氏體不銹鋼和7075鋁合金進行加工,研究了激光參數和試驗條件對三種合金材料的微細加工效果的影響.試驗研究內容包括脈沖掃描速率與刻蝕寬度和深度的關系、入射脈沖數量與刻蝕寬度以及刻蝕效率的關系.運用掃描電子顯微鏡和激光共焦掃描顯微鏡對試驗結果進行分析,發現對于三種合金材料而言,入射的脈沖數量達到某值后,刻蝕寬度基本保持恒定;黃銅和不銹鋼的通道寬度與深度會隨著激光掃描速率的提高而降低;飛秒激光可以對黃銅與不銹鋼實現冷加工,單個脈沖的刻蝕率分別為102.4 nm和39.83 nm,是比較理想的微加工手段.
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