光刻機試驗運動裝置振動信號的時頻分析
摘要：步進掃描光刻機在工作狀態(tài)下振動特性的好壞對其性能起著重要作用.為給步進掃描光刻機的設(shè)計研究提供理論指導,設(shè)計了一種步進掃描光刻機模擬試驗運動裝置,它能夠完全再現(xiàn)步進掃描光刻機的運動特點.在此基礎(chǔ)上,對試驗裝置的關(guān)鍵部件進行了振動測試,運用傅里葉變換和現(xiàn)代聯(lián)合時頻分析技術(shù)對測得的數(shù)據(jù)分別進行了分析,結(jié)果表明,采用聯(lián)合時頻分析技術(shù)更能反映系統(tǒng)的固有性質(zhì)和振動特性,所得到的參數(shù)和結(jié)果對指導步進掃描光刻機隔振裝置的設(shè)計具有一定的實際意義.
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