微機械陀螺沖擊特性及可靠性研究
摘要：為了深入掌握微機械陀螺的沖擊響應特性,本文進行了詳細的理論推導和MATLAB仿真分析,并進行了測試驗證。沖擊試驗結果表明,理論分析和試驗結果基本一致,考慮最壞情況可知,當脈寬對應的沖擊頻率與陀螺固有頻率越接近,并且陀螺品質因子和沖擊加速度幅值越大時,則沖擊帶來的影響就越大,梁越容易發生斷裂失效。因此要使MEMS陀螺具有較強的抗沖擊能力,必須綜合優化設計陀螺的真空度和固有頻率。
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