非晶材料
非晶材料在傳感器中的應(yīng)用
論文關(guān)鍵詞:?jiǎn)尉Р牧隙嗑Р牧戏蔷Р牧戏蔷Ч璺蔷Т判圆牧戏蔷鞲衅髡撐恼赫簩?duì)敏感功能材料研究開發(fā)所呈現(xiàn)的主要趨勢(shì)之一就是從單晶材料向多晶材料和非晶材料方向過渡發(fā)展。由于非晶材料具有光吸收系數(shù)高、基片材料的限制性小、性能易于擴(kuò)展、制作工藝簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn),因而受到多方面青睞。本文側(cè)重介紹非晶材料的現(xiàn)狀、基本特性及其在傳感器中的應(yīng)用與展望。一、引言最近,對(duì)敏感功能材料的研制開發(fā)所呈現(xiàn)的主要趨勢(shì)之一就是從單晶材料向多晶材料和非晶材料的方向過渡發(fā)展。到目前為止,傳感器中應(yīng)用的敏感功能材料多為單晶材料,特別是物理類傳感器更是如此。例如,光敏傳感器一直就是用Si、GaAs 之類的單晶半導(dǎo)體。另一方面,氣敏傳感器主要由多晶材料或多孔陶瓷構(gòu)成。陶瓷由粉末混合物經(jīng)模壓、燒結(jié)而形成。采用理想特性的原材料并對(duì)燒結(jié)工藝嚴(yán)加管制,便可制成一種精細(xì)陶瓷,使之應(yīng)用于傳感器,從而開辟了陶瓷拓寬應(yīng)用的新天地。單晶傳感器僅利用了晶體的體性能,而多晶傳感器和陶瓷傳感器則利用了多孔性和晶粒邊界特性,從而開辟了拓寬應(yīng)用于氣敏傳感器和熱敏傳感器的新途徑。非晶材料大致分