退火溫度對Al摻雜ZnO薄膜結(jié)構(gòu)和光學(xué)性質(zhì)的影響
摘要：采用溶膠-凝膠法在石英襯底上沉積Al摻雜的ZnO（AZO）納米薄膜,研究了退火溫度對薄膜的結(jié)構(gòu)和光學(xué)性質(zhì)的影響.結(jié)果表明：AZO薄膜呈c軸擇優(yōu)取向的纖鋅礦結(jié)構(gòu).在一定的溫度范圍內(nèi),晶粒尺寸的大小隨退火溫度的升高而增加.當(dāng)退火溫度為900℃時,樣品表面平整致密,樣品可見光區(qū)的透射率達80%.當(dāng)溫度上升1 000℃時,晶粒尺寸達到最大,但樣品表面出現(xiàn)裂紋,可見光區(qū)域的透射率下降.進一步提高退火溫度則由于熱缺陷導(dǎo)致了結(jié)晶質(zhì)量的退化,一定范圍內(nèi)退火溫度的升高能夠提高樣品的晶體中原子排列的有序性,有助于晶粒的長大,但同時也增加了樣品內(nèi)氧空位（Vo）和鋅間隙（Zni）的缺陷濃度.
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