退火溫度對Al摻雜ZnO薄膜結構和光學性質的影響
摘要：采用溶膠-凝膠法在石英襯底上沉積Al摻雜的ZnO（AZO）納米薄膜,研究了退火溫度對薄膜的結構和光學性質的影響.結果表明：AZO薄膜呈c軸擇優取向的纖鋅礦結構.在一定的溫度范圍內,晶粒尺寸的大小隨退火溫度的升高而增加.當退火溫度為900℃時,樣品表面平整致密,樣品可見光區的透射率達80%.當溫度上升1 000℃時,晶粒尺寸達到最大,但樣品表面出現裂紋,可見光區域的透射率下降.進一步提高退火溫度則由于熱缺陷導致了結晶質量的退化,一定范圍內退火溫度的升高能夠提高樣品的晶體中原子排列的有序性,有助于晶粒的長大,但同時也增加了樣品內氧空位（Vo）和鋅間隙（Zni）的缺陷濃度.
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