納米壓痕法表征BNT薄膜的壓電性能
摘要：利用有限元方法模擬了BNT薄膜/基底體系的納米壓痕過程,分析討論了BNT薄膜的壓電參數對加載的最大壓痕載荷、加載曲線指數的影響,用量綱分析結合有限元方法建立了壓痕的加載參數和BNT薄膜的壓電參數的無量綱關系.
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