入口條件對D4合成石英玻璃的影響
摘要：通過對D4合成石英玻璃過程的數值模擬研究,分析了氫氧當量比、氫氧質量流量、D4和載氣總流量對沉積面溫度和組分分布以及沉積位置的影響,并根據石英玻璃軟化溫度優化了沉積面形狀.研究結果表明,氫氧當量比為1.0時,沉積面上溫度和組分濃度梯度都比較大.適當地降低當量比或者氫氧質量流量,增加中心入口流量,可以減少OH生成,提高SiO2產量,改善沉積面上組分濃度分布均勻性;但流量過低,會導致沉積效率下降.沉積位置應根據火焰溫度進行調整,沉積面上非均勻的溫度分布一定程度上是由于物理模型中沉積面形狀的不合理造成的,偏平狀的沉積面更加符合實際情況.
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