TCAD課程設計在微電子課程體系中的應用與研究
摘要：微電子相關專業人才培養中,半導體器件物理和微電子工藝是兩門重要的專業核心課程。本文在探討TCAD課程設計的開設對改善和提高這兩門課程實驗和實踐教學的意義基礎上,依據我們多年來TCAD課程設計的開設經驗,對TCAD課程設計中的題目設置、結果評價方式等進行了討論。通過近兩年TCAD課程設計與半導體器件物理和微電子工藝課程的平行開設,它的提高和改善作用通過考試成績的得到了很好的驗證。
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